网通社科技快报
DiamondFoundry成功制备200mm单晶金刚石创世界纪录
11月5日,美国材料科技企业Diamond Foundry宣布成功生长出直径200毫米(8英寸)的单晶金刚石圆片,系全球首次实现该尺寸的非拼接、无晶界单晶结构,整体呈银灰色光滑圆盘状,已完成晶体生长但尚未抛光。该材料热导率高达2200 W/m·K,击穿电场达10 MV/cm,禁带宽度5.47 eV,性能远超硅、碳化硅与氮化镓。过去数十年受限于合成技术,单晶金刚石商用尺寸长期不足50毫米,难以适配主流半导体制造规格;此次突破使材料尺寸首次匹配8英寸硅晶圆标准,可直接兼容现有光刻、刻蚀等晶圆加工设备,降低产线改造成本。公司攻克了CVD过程中等离子体均匀性、温度压力协同控制、籽晶位错抑制及数百小时连续生长稳定性四大难题,项目历时十余年,由Stefan Gsell与Martin Fischer等资深科学家主导。应用方面,优先聚焦AI芯片散热——测试显示采用金刚石衬底可使芯片结温降低15–25℃,应对NVIDIA Blackwell等GPU局部热通量超1000 W/cm²的挑战;同时在6.5 kV以上高压器件、太赫兹射频晶体管及量子系统衬底等领域具潜力。公司已规划300mm版本,目标2027年前小批量试产。当前仍面临高成本(生长超300小时)、n型掺杂效率低及表面粗糙度(Ra≈0.5 nm)待优化等挑战。行业认为此举标志金刚石从实验室走向工业可用的关键一步,虽短期将以异质集成方式嵌入高端封装,但为第四代半导体竞争奠定基础。