晶圆厂如何赋予自主代理决策权?基于统计过程控制的授权机制解析 半导体制造中,自主代理能否修改工艺配方(recipe)取决于一套严谨的授权框架:权限按决策类别授予,并在控制图异常时自动撤销。该机制源于数十年成熟的统计过程控制... 2026年10月21日 半导体/芯片 #EDA #决策权 分享海报