国产浸没式DUV光刻机突破,7nm工艺节点提前10年实现 在半导体设备领域,光刻机被誉为"皇冠上的明珠",其技术水平直接决定了芯片制造的工艺能力。近日,一则关于国产浸没式DUV光刻机小批量生产的消息震惊了全球半导体行业... 2026年08月04日 半导体/芯片 #ASML #光刻机