俄罗斯130nm光刻机完成验收，国产化突破与制造成本650万美元 俄罗斯Zelenograd Nano Technology Center（ZNTC）与白俄罗斯Planar公司合作开发的130纳米分辨率步进式光刻机已完成第三阶... 2026年10月09日 半导体/芯片 #俄罗斯 #普拉纳尔公司 分享海报
