晶圆厂如何赋予自主代理决策权？基于统计过程控制的授权机制解析
半导体制造中，自主代理能否修改工艺配方（recipe）取决于一套严谨的授权框架：权限按决策类别授予，并在控制图异常时自动撤销。该机制源于数十年成熟的统计过程控制...
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