蔡司提前备货High-NAEUV光学系统，三星SK海力士扩产获关键支撑
蔡司已为韩国三星电子与SK海力士的晶圆厂扩产完成供应链准备，其高数值孔径EUV（High-NA EUV）光学系统订单排至2027年。公司六年前启动光掩模量测技术...
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