国产浸没式DUV光刻机突破，7nm工艺节点提前10年实现
在半导体设备领域，光刻机被誉为"皇冠上的明珠"，其技术水平直接决定了芯片制造的工艺能力。近日，一则关于国产浸没式DUV光刻机小批量生产的消息震惊了全球半导体行业...
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